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高真空隔膜泵能够抵抗腐蚀性气体的侵蚀

更新日期: 2024-03-04
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  高真空隔膜泵是一种能够在高真空环境下工作的泵类设备,通过隔膜的往复运动来实现对气体的抽吸和压缩。这种泵广泛应用于科研、半导体制造、光电技术、化工、生物制药等行业,用于提供无油、无污染的高真空环境。主要由泵体、隔膜、驱动机构和控制系统等部分组成。隔膜是泵的核心部件,它将泵腔分为吸入腔和排出腔。工作时,隔膜在驱动机构的带动下做往复运动。在吸入行程中,隔膜向吸入腔方向移动,使吸入腔体积增大,压力降低,从而实现对气体的吸入;在排出行程中,隔膜向排出腔方向移动,使排出腔体积减小,压力升高,将气体排出。这样,隔膜泵就能够连续地抽吸和排放气体,达到抽气的目的。
 

 

  高真空隔膜泵的主要特点:
  1.无油污染:由于隔膜泵不使用润滑油,因此可以避免油蒸汽对高真空系统的污染。
  2.高真空度:隔膜泵能够提供高的真空度,通常可达到10^-3Pa甚至更高的水平。
  3.抗腐蚀:隔膜泵的泵体和隔膜通常采用耐腐蚀材料制成,能够抵抗腐蚀性气体的侵蚀。
  4.低振动:隔膜泵的工作原理决定了其运行时振动较小,有利于实验室等对振动敏感的环境。
  5.维护简单:隔膜泵结构简单,维护和保养相对容易。
  应用领域:
  1.半导体制造:用于晶圆生产、刻蚀、镀膜等工艺中的高真空抽取。
  2.科研实验:为各种高真空实验提供必要的真空环境。
  3.光电技术:在光电器件的制造和测试中提供高真空条件。
  4.化工行业:用于有毒、有害、腐蚀性气体的处理和输送。
  5.生物制药:在药物研发和生产中提供无菌的真空环境。
  高真空隔膜泵的操作流程:
  1.开机检查:确保泵体清洁,各连接部位密封良好,无异常振动和噪音。
  2.系统预热:开启泵前,先对泵进行预热,避免因温差引起的冷凝。
  3.启动泵:打开电源,启动隔膜泵,观察运行是否正常。
  4.真空度调节:根据需要调节泵的工作频率或阀门开度,控制真空度。
  5.停机:关闭电源,等待泵体冷却后进行维护保养。
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